半导体载具全自动多臂超声波清洗机
一、工作原理
半导体载具全自动多臂超声波清洗机采用高频精密超声空化技术，搭配多臂独立伺服搬运结构，实现半导体载具类工件的全自动、高洁净、无损伤清洗。设备通过高频换能器产生稳定机械振荡，在高纯水环境下形成细密均匀的空化气泡，利用气泡溃灭产生的微射流与流体剥离力，精准清除载具卡槽、缝隙、表面的微颗粒粉尘、硅粉残留、油污及有机附着物。区别于普通单臂设备，本机搭载多臂交替作业系统，可独立完成上料、浸洗、漂洗、沥液、烘干转运，各工位互不等待、同步衔接，大幅提升清洗效率。设备采用柔性超声输出与匀速升降缓冲工艺，避免载具碰撞、摩擦刮伤，全程密闭自动化运行，无人工接触污染，稳定满足半导体制程高洁净循环复用要求。
二、主要技术参数
1. 超声频率：70‑130kHz高频可调，适配精密载具低损伤清洗工艺；
2. 超声功率：0‑2200W无级可调，槽内声场均匀，去污一致性高；
3. 传动结构：多臂伺服机械臂独立控制，可交替轮换作业，运行稳定静音；
4. 工位配置：多槽组合工艺，包含超声清洗、多级纯水漂洗、沥液工位、热风烘干工位；
5. 过滤系统：配置高精度循环过滤装置，有效拦截微颗粒杂质，保持水质洁净；
6. 温控范围：室温‑60℃智能恒温，控温精度±0.5℃；
7. 运行精度：机械臂重复定位精度±0.08mm，升降、平移平稳无晃动；
8. 烘干方式：无尘热风均衡烘干，杜绝水渍、水斑残留；
9. 控制系统：PLC触摸屏全自动操控，可储存多套工艺程序，支持批量连续生产。
三、应用范围
该设备专用于半导体行业各类精密载具的批量再生清洗，广泛适配晶圆载具、芯片承载盒、陶瓷载板、传输花篮、封装治具、精密托盘等工装器具。主要清除载具在取放、传输、制程加工中残留的硅粉、粉尘颗粒、轻微油污、纤维杂质及工艺残留物，解决载具不洁导致的芯片划伤、吸附异物、制程不良等问题。适用于半导体切割、研磨、镀膜、封装、测试等各工序前后的载具循环清洗，保障载具表面高洁净度，实现工装重复利用、降低生产成本。多臂交替作业模式适配工厂大批量产能需求，可对接自动化流水线，全程无尘标准化作业，完全符合半导体精密制造的洁净生产规范与量产标准。
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半导体载具全自动多臂超声波清洗机
产品详情
一、工作原理
半导体载具全自动多臂超声波清洗机采用高频精密超声空化技术，搭配多臂独立伺服搬运结构，实现半导体载具类工件的全自动、高洁净、无损伤清洗。设备通过高频换能器产生稳定机械振荡，在高纯水环境下形成细密均匀的空化气泡，利用气泡溃灭产生的微射流与流体剥离力，精准清除载具卡槽、缝隙、表面的微颗粒粉尘、硅粉残留、油污及有机附着物。区别于普通单臂设备，本机搭载多臂交替作业系统，可独立完成上料、浸洗、漂洗、沥液、烘干转运，各工位互不等待、同步衔接，大幅提升清洗效率。设备采用柔性超声输出与匀速升降缓冲工艺，避免载具碰撞、摩擦刮伤，全程密闭自动化运行，无人工接触污染，稳定满足半导体制程高洁净循环复用要求。
二、主要技术参数
1. 超声频率：70‑130kHz高频可调，适配精密载具低损伤清洗工艺；
2. 超声功率：0‑2200W无级可调，槽内声场均匀，去污一致性高；
3. 传动结构：多臂伺服机械臂独立控制，可交替轮换作业，运行稳定静音；
4. 工位配置：多槽组合工艺，包含超声清洗、多级纯水漂洗、沥液工位、热风烘干工位；
5. 过滤系统：配置高精度循环过滤装置，有效拦截微颗粒杂质，保持水质洁净；
6. 温控范围：室温‑60℃智能恒温，控温精度±0.5℃；
7. 运行精度：机械臂重复定位精度±0.08mm，升降、平移平稳无晃动；
8. 烘干方式：无尘热风均衡烘干，杜绝水渍、水斑残留；
9. 控制系统：PLC触摸屏全自动操控，可储存多套工艺程序，支持批量连续生产。
三、应用范围
该设备专用于半导体行业各类精密载具的批量再生清洗，广泛适配晶圆载具、芯片承载盒、陶瓷载板、传输花篮、封装治具、精密托盘等工装器具。主要清除载具在取放、传输、制程加工中残留的硅粉、粉尘颗粒、轻微油污、纤维杂质及工艺残留物，解决载具不洁导致的芯片划伤、吸附异物、制程不良等问题。适用于半导体切割、研磨、镀膜、封装、测试等各工序前后的载具循环清洗，保障载具表面高洁净度，实现工装重复利用、降低生产成本。多臂交替作业模式适配工厂大批量产能需求，可对接自动化流水线，全程无尘标准化作业，完全符合半导体精密制造的洁净生产规范与量产标准。
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ZhangW@jjjyzn.com
江苏省苏州市张家港市杨舍镇新泾中路18号
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